真空泵通常采用密封裝置確保內部真空度，常見的密封形式有機械密封和動密封兩種。機械密封是利用靜密封面和動密封面的相對運動實現密封，常見的機械密封有干式機械密封和液環密封。

干式機械密封是通過兩個平行密封面之間的相對滑動摩擦實現密封，適用于工作環境較清潔的真空泵。液環密封則是通過在密封相對運動部位注入液體實現密封，適用于工作環境較臟的情況。

動密封則是通過密封氣體與環境氣體之間的相對流動實現密封，常見的動密封有旋轉密封和移動密封。旋轉密封一般采用旋轉軸與固定密封件之間的相對旋轉來實現密封，可以承受較高的轉速。移動密封則是通過活塞或活塞環與密封孔之間的相對運動實現密封，適用于高真空度的泵。